概念2D半导体 / 二维材料
二维半导体
厚度为原子级的新型半导体材料,以过渡金属硫化物(TMDs)为代表,具有优异的电学特性和天然带隙,被视为后摩尔时代延续芯片性能提升的关键技术路线之一
时间轴 (近 90 天)
9月22日
二维半导体因其原子级厚度和优异的电学特性,被视为延续摩尔定律、突破功耗与尺寸瓶颈的潜在候选者
待验证50%
9月22日
截至目前没有任何厂商实现二维半导体的晶圆级量产
待验证50%
9月22日
二维半导体量产瓶颈集中在薄膜生长工艺(主流方案为CVD)、与后道互连工艺BEOL的热预算兼容性、以及接触电阻问题三个层面
待验证50%
9月22日
在300mm大尺寸晶圆上获得均匀、低缺陷的单层二维薄膜仍是难题
待验证50%