概念

压电驱动

利用压电陶瓷材料的逆压电效应产生微纳级位移的驱动技术，常用于超精密定位。

时间轴 (近 90 天)

10月18日

微米级定位通常需要更精密的传动方案（如高精度丝杠或压电驱动）、闭环反馈（光栅尺或激光干涉测距）以及隔振设计。

待验证50%

微米级定位通常需要更精密的传动方案（如高精度丝杠或压电驱动）、闭环反馈（光栅尺或激光干涉测距）以及隔振设计。