纳米压印技术

通过物理压印而非光学曝光来复制纳米级图案的制造工艺，将带有预设微纳结构的模具压入基板上的可塑性材料，固化后脱模得到高精度图案复制品，分辨率不受光波长限制，适合大面积批量复制