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EUV技术使用13.5纳米波长光源,相较传统DUV(193纳米)可在单次曝光实现更精细图案转移,是7nm以下先进制程量产的关键技术

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2026/7/24
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curl https://kongchang.com/api/v1/knowledge/claims/611123
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get_claim(id=611123)