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零样本晶圆图分类：免训练多模态大模型方案

一项免训练的零样本晶圆图分类框架，利用冻结多模态大模型与规则排序提示，在Mixed-WM38和WM811K数据集上分别达到93.8%和81.3%的总体准确率，为半导体缺陷检测提供新思路。