GAA晶体管

一种先进晶体管架构，栅极完整环绕纳米片或纳米线实现四面全包裹，相比FinFET可大幅提升对沟道电流的控制能力，有效抑制短沟道效应和漏电流，是埃米级芯片制程的关键技术